先將浸泡過(guò)的空白濾膜放入培養(yǎng)皿中烘箱內(nèi)，烘干后置于干燥皿中自然冷卻稱(chēng)重，記錄空白濾膜及培養(yǎng)皿的重量。

（1）清洗：將工件置于清洗槽上方，將燒杯的接收器置于洗槽漏斗下方，收集所有的清洗液。打開(kāi)通風(fēng)裝置及加壓裝置，手持噴槍開(kāi)始對(duì)工件位置進(jìn)行清洗（清洗過(guò)程應(yīng)避免清洗液濺出槽外）。使用完畢后，繼續(xù)開(kāi)噴槍將罐內(nèi)剩余清洗液全部壓出。

 

（2）過(guò)濾：將濾膜放在濾杯與砂芯之間夾緊，將待過(guò)濾的溶劑倒入濾杯內(nèi)。過(guò)濾應(yīng)盡可能抽干清洗液，以減少烘干恒重時(shí)間，同時(shí)防止膜面殘留揮發(fā)性清洗液過(guò)多而導(dǎo)致烘干時(shí)發(fā)生危險(xiǎn)。

 

（3）烘干：將濾膜連同濾出的雜質(zhì)一起放入培養(yǎng)皿中，放入烘箱內(nèi)烘干，結(jié)束后置于干燥皿中自然冷卻后稱(chēng)重兩次。

 

（4）稱(chēng)量：將經(jīng)過(guò)烘干冷卻的帶有雜質(zhì)濾膜的培養(yǎng)皿放在天平上稱(chēng)量，讀數(shù)到0.1mg；解體過(guò)程中的收集的異物也需進(jìn)行稱(chēng)重。過(guò)濾后的濾膜與空白濾膜的重量差即為工件雜質(zhì)重量。

 

（5）清潔度分析：將待檢濾膜使用濾膜夾具置于電動(dòng)平臺(tái)上，依據(jù)相關(guān)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)中要求的顆粒大小，選用適合的放大倍率及檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)定掃描區(qū)域后，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行濾膜掃描拼圖，并依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)顆粒進(jìn)行自動(dòng)分析統(tǒng)計(jì)，集成的報(bào)告工具自動(dòng)生成基于標(biāo)準(zhǔn)或客戶(hù)模板的標(biāo)準(zhǔn)文檔。